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旺矽科技攜手羅德史瓦茲(R&S)建置了高精度晶圓研發測試解決方案,其中包含了MPI晶圓探針台系統與QAlibria校正軟體,提供射頻與毫米波元件及積體電路研發人員從校正、模擬、設計、驗證到除錯等完整的晶圓研發測試解決方案;進一步確保半導體元件的品質與可靠度,避免後段製程中構裝成本的浪費。在複雜度與日俱增的奈米製程和時間與成本的雙重壓力下,晶圓的設計、測試與驗證已成為一大挑戰;旺矽推出全新的MPI晶圓探針台系統以呼應市場需求,此探針台系統為兼具了易於操作與高準確度的手動測試平台,並注入多項獨特的設計概念。此外,旺矽攜手羅德史瓦茲打造了QAlibria校正軟體,此軟體可直接安裝於 R&S ZVA高階向量網路分析儀中進行S參數量測,大幅提升測試準確度並加速射頻電路設計。if (typeof(ONEAD) !== "undefined"){ONEAD.cmd = ONEAD.cmd || [];ONEAD.cmd.push(function(){ONEAD_slot('div-inread-ad', 'inread');});} MPI晶圓探針台系統的氣靜壓載台設計,採用了單臂氣浮式控制,大幅加速XY軸定位與晶圓裝載速度,精確度可達25mm×25mm XY-Theta微米移動。在平台升降的設計上,可達1μm的高精確度,採接觸、分離到裝載三段式設計,並配備安全鎖避免意外發生造成探頭或晶圓的損壞。精巧且剛性的平台設計,最多可容納10個DC或4個RF微定位,滿足各種不同的應用需求。MPI提供了多種晶圓載台選擇,包括了MPI同軸載台、三軸載台、及支援量測溫度達300℃的多種ERS升溫載台,並可與熱感應器無縫整合;RF載台則包含了2個內建陶瓷材質的輔助載台供校正片使用,以提供準確的RF校正。此外,MPI探針台系統提供了多種顯微鏡調節基座的選擇,並支援達90度傾斜或透過氣動控制、以及線性Z軸升降;適用於一般DC/CV的應用或MPI SZ10/MZ12於RF的配置,甚至可以搭配如Mitutoyo FS70或PSM-1000高倍率觀測顯微鏡進行錯誤分析應用。MPI亦提供減震底座與EMI遮蔽暗室供客戶進行選配。旺矽與R&S攜手打造的MPI QAlibria免費校正軟體,可直接安裝於R&S ZVA高階向量網路分析儀中,進行精確且可重複的S參數量測,快速掌握元件的集膚效應和介電損耗,精確地蒐集更高階的諧波 頻率等測試數據。R&S ZVA支援頻率範圍達110GHz,極高的動態範圍與輸出功率、及快速的量測速度,為毫米波頻段主動及被動元件量測的最佳解決方案;透過搭配R&S毫米波轉換器可延伸 R&S ZVA頻率範圍至500GHz。R&S ZVA於晶圓量測上,可同時搭配4個頻率轉換器進行毫米波差動量測。R&S ZVA亦可執行微波頻段之混頻器及脈衝量測。
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